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晶片全自动采样分析设备 NAC-300/NAC-301

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李美兰
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产品详情
  • 品牌/型号:NAS-GIKEN/NAC-300/NAC-301
全自动采样装置NAC-300/NAC-301

1 -全自动采样装置NAC-300/NAC-301特点

NAC-300

把装有晶片的晶片篮直接放入本装置中,全自动地进行气相分解、晶片表面采样、采样液稀释等一系列操作;本装置适用于大批量晶片采样和分析用途;具有对采样液计量?稀释功能,也可以防止采样过程中采样液残留在晶片上;自行设计的独特双重窗门结构,有效地防止装置内酸气的外泄和操作员对装置的污染;具有采样液滴夹具自动采样分析功能,节省操作员的工时和减少污染。(※仅对表面采样液滴夹具有效)

NAC-301

把装有晶片的晶片篮直接放入本装置中,全自动地进行气相分解、晶片表面采样、采样液稀释等一系列操作;本装置适用于大批量晶片采样和分析用途;具有对采样液计量?稀释功能,也可以防止采样过程中采样液残留在晶片上;自行设计的独特双重窗门结构,有效地防止装置内酸气的外泄和操作员对装置的污染;具有采样液滴夹具自动采样分析功能,节省操作员的工时和减少污染;(※对表面?侧面采样液滴夹具都有效)追加晶片表面蚀刻功能时,可安装追加采样把手。2 -全自动采样装置NAC-300/NAC-301规格

装置名

NAC-300

NAC-301

可处理晶片规格

125mm、150mm、200mm、300mm

操作部

装置自带计算机(触摸屏操作)

基本采样模式

圆形、扇形、固定半径、圆弧

可追加采样模式(※1)

侧面、矩形、弧形、正方形

晶片排片(※1)

圆形、固定半径、侧面采样模式匹配

侧面采样液滴夹具自动采样

-

追加采样把手

-

外形尺寸(W × D × H)(mm)(※2)

1300 × 1200 × 2000

1300 × 1350 × 2000

其它接口

排水、普通排气、排酸气

其它

电源(AC100V15A)、纯水、氮气、无尘空气

※1:选择项另外计价。
※2:本装置箱体无突出物。

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